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| 數字真空鍍膜電源係列
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直流疊加脈衝偏壓電源
作者:admin 發布時間:2013-09-17 13:49 文章來源:未知
JCL-ZDPY/SZDPY直流疊加脈衝偏壓電源
主要特點
JCL-ZDPY可方便地在帶載情況下通過直流電壓和脈衝電壓實現直流、單極脈衝和直流疊加脈衝三種偏壓模式。配合脈衝頻率和占空比調節,可控製成膜溫度增加膜基結合力,提高沉積和高品質鍍膜係統。
1、DSP數字化控製/精度高/重複性好,配有控製麵板和控製程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護。
3、控製方式:恒壓、恒流、恒功率。
4、風冷
5、根據用戶要求預留光纖通訊接口(遠控功能)

主要參數
負脈衝工作電壓可分為A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調,脈衝上升、下降快,脈衝幅值穩定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流電壓:20V~200V連續可調、自動穩壓、穩壓精度1%
脈衝頻率:20KHz~40KHz(連續可調或定額)
脈衝占空比:10%~80%(連續可調)


型號 功率 工作電壓電流(脈衝) 脈衝頻率 占空比 冷卻方式 工作電壓電流(直流)
ZDPY-5 5kW 100~1000V/4A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 風冷 20~200V/5A
50~500V/8A
25~250A/16A
ZDPY-10 10kW 100~1000V/8A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 風冷 20~200V/10A
50~500V/16A
25~250A/32A
ZDPY-20 20kW 100~1000V/16A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/20A
50~500V/32A
25~250A/64A
ZDPY-30 30kW 100~1000V/24A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/30A
50~500V/48A
25~250A/96A
ZDPY-50 50kW 100~1000V/40A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/50A
50~500V/80A
25~250A/160A
ZDPY-70 70kW 100~1000V/56A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/70A
50~500V/112A
25~250A/224A
ZDPY-100 100kW 100~1000V/80A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/100A
50~500V/160A
25~250A/320A
 


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