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| 數字真空鍍膜電源係列
非對稱雙極脈衝磁控濺射電源
作者:admin 發布時間:2013-09-13 17:08 文章來源:未知
JCL-FSZP/SFZP非對稱雙極脈衝磁控濺射電源

主要特點:
可單靶或雙靶工作,雙靶工作時,兩個靶的材料和尺寸都可以不同,每個靶的濺射電流可分別設定;單靶工作時也可以減少電荷累積引起的異常放電。適合於鍍製碳化物、氧化物、氮化物等膜層,雙靶運用可方便控製成分比。
1、DSP數字化控製/精度高/重複性好,配有控製麵板和控製程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護。
3、控製方式:恒壓、恒流、恒功率
4、冷卻方式:風冷;風冷+水冷
5、根據用戶要求預留PLC遠控接口(遠控功能)

主要參數:
空載電壓≥800V,工作電壓:200-750V
正負極性平均電流獨立穩流,穩流精度1%
脈衝頻率:5KHZ-40KHZ,連續可調或定頻40KHZ
脈衝占空比:10%-80%,連續可調
 


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