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雙極脈衝磁控濺射電源(中頻電源)
作者:admin 發布時間:2013-09-13 17:19 文章來源:未知
JCL-ZP/SZZP雙極脈衝磁控濺射電源(中頻電源)
主要用途
  JCL-SZP全數字化中頻磁控濺射電源適用於中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬材料。本電源能增加離化率,減小電荷積累,預防靶表麵中毒現象。特別適用於反應磁控濺射鍍製ITO膜、介質膜、絕緣保護膜。
 
主要特點
1、 采用高頻轉換技術,高效節能、反應迅速,雙級脈衝方波輸出,占空比20%80%連續可調,脈衝頻率 2040KHZ連續可調,具有恒壓、恒流、恒功率工作模式,適應各類特殊工藝要求,可實現雙靶濺射,具有優異的滅弧性能。
2、 全數字化控製、精度高、重複性好;配有控製麵板和控製程序,根據工藝要求設定工藝參數實現近地控製和遠程控製(配有通訊接口)。
3、 空載電壓:1200V-1300V,工作電壓:200V-800V
4、 電源功率:20KW、 30KW 、40KW 、60KW、 80KW 、  100KW
 
 
 
 

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