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JCL-HIP高功率脈衝磁控濺射電源
主要性能
JCL-HIP高功率脈衝磁控濺射電源以快速開關控製正負電極放電，避免從傳統磁控濺射之異常輝光放電區進入電弧放電區，電流密度可達1019 /m3 ，比傳統磁控濺射高三個量級，離化率更高達70%-100% ，可輕易沉積各種高級膜，附著力強。幾乎不用改變原來磁控濺射鍍膜設備，可直接更換電源即可。
主要特點
DSP全數字控製，自動化程度高
具有過流、過壓、超溫保護
全逆變設計，大功率IGBT功率模塊為主要器件，脈衝輸出有較強的衝擊力，單脈衝功率可達MW級
主要參數
1、 輸入電壓：380V±5％，50HZ，三相交流；
2、 輸出電壓：100V-4000V，脈衝電壓；
3、 輸出電流：100A-2000A，脈衝電流；
4、 輸出脈寬：5-2500us，可設定；
5、 頻率：30Hz-50kHz，可選擇範圍；
6、 輸出功率：10KW 20KW 30KW 40KW 50KW